螺杆真空泵常采用氮气充注，主要是因为用氮气吹扫泵可以延缓腐蚀性气体对泵的腐蚀，从而起到很好的保护作用。
螺杆真空泵使用氮气的原因总结如下：
1.将氮气冲洗到螺杆真空泵中的目的是在真空泵内壁上形成弱保护气体膜。氮气压力不宜过大或过小，影响抽真空效果，增加能耗；太小可能不会形成保护作用。
2.泵送腐蚀性气体的泵将使用氮气，氮气将对泵进行吹扫，以延迟腐蚀性气体对泵的腐蚀。
3.真空镀膜过程中使用的一些气体会腐蚀螺杆真空泵，因此将使用该泵。但管壁中的氮气与泵分离。
4.可以喷洒多少单位的氮气以产生所需的颜色。有些颜色使用乙炔。在实际应用中，通常使用氩气。
5.密封、稀释工艺气体。减少腐蚀和工艺附着力。
6.没有一定的温度、压力或催化剂，氮气很难与外界反应。因此，用氮气吹扫泵系统更安全、更可靠。
7、氮气吸附热小，在物体表面吸附时间短。当氮气吸附在螺杆真空泵的壁面上时，它很容易被抽走。真空系统清洗中的氮气吹扫正式利用了这一特性。在真空镀膜过程中，在用干燥氮气吹扫和清洗真空系统后，氮气分子将首先吸附在真空系统的壁面上。因为壁面上的吸附位置是确定的，其他分子如水分子在被氮分子覆盖时会减少。因此，真空系统的整个泵送时间将大大缩短。
氮气是一种稳定无害的气体，可以保护螺杆真空泵，有效延长使用寿命，减缓腐蚀问题。